產(chǎn)品特點:
低噪聲、強穩(wěn)定性、強兼容性
應(yīng)用領(lǐng)域:
α能譜探測器能譜測量、半導(dǎo)體材料缺陷分析
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α能譜真空測試系統(tǒng)由真空室、真空泵、能譜采集系統(tǒng)組成的測試設(shè)備?？芍谱鳛榉煮w式和一體式?？捎糜贑ZT、PIPS、金硅面壘等α能譜探測器的能譜測量，以及其他新型半導(dǎo)體材料的缺陷分析。
系統(tǒng)框架圖：
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